源帆科技是KST World公司长期授权的中国代理,KST World公司是全球领先的氧化硅片以及SOI晶圆制造商,该公司采用独特的SOI晶圆生产工艺,能够为MEMS和功率半导体产品的制作提供埋氧层厚度高达20um的SOI晶圆。另外,KST World公司在晶圆产品批量生产的性能一致性和制作精度方面,具有优势。
Cavity SOI晶圆对MEMS Device制造的效率和合格率等有非常大的帮助,可大幅減少成本。並且Thick-BOX® SOI晶圆经本公司独有的超厚膜热氧化膜加工技术,可让SOI晶圆拥有前所未有的Box层厚度,可提早实现矽光(Silicon Photonics)与超高耐压的半导体power device。
日本进口PZT镀膜产品,具有成膜温度低、成膜速率快、成膜均匀性好、压电系数高、疲劳特性好等特点,广泛应用于MEMS传感器件,在压电超声波传感器、压电换能器、压电执行器中得到越来越多的应用,是下一代传感器件的优良材料。
提供免费设计,个性化专业定制服务,搭建高真空试验平台系统
目前已为国内各大研究院所、高校实验室以及真空设备领域企业大量供货,广受用好好评。
掩膜板设计加工制作,清洗、光刻、磁控溅射、蒸发、键合、PECVD、LPCVD、离子注入、ALD、刻蚀、深刻蚀、湿法腐蚀、电镀、TSV深孔电镀等在内的全流程系列工艺。