PZT压电薄膜代加工

日本进口PZT镀膜产品，具有成膜温度低、成膜速率快、成膜均匀性好、压电系数高、疲劳特性好等特点，广泛应用于MEMS传感器件，在压电超声波传感器、压电换能器、压电执行器中得到越来越多的应用，是下一代传感器件的优良材料。