PZT压电薄膜代加工
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PZT压电薄膜代加工

代理日本进口镀PZT薄膜膜硅片、SOI片,规格可满足4寸、6寸、8寸。
日本进口PZT镀膜产品,具有成膜温度低、成膜速率快、成膜均匀性好、压电系数高、疲劳特性好等特点,广泛应用于MEMS传感器件,在压电超声波传感器、压电换能器、压电执行器中得到越来越多的应用,是下一代传感器件的优良材料。
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定制化生长PZT压电薄膜

1、实现4、6、8寸硅晶圆、SOI晶圆上生长1-5um厚的PZT薄膜,可带上下电极

2、压电薄膜性能实现d31≥200pm/V,e31≥15.8C/m2,成膜均匀性±5%,应力可控

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