MEMS加工

掩膜板设计加工制作，清洗、光刻、磁控溅射、蒸发、键合、PECVD、LPCVD、离子注入、ALD、刻蚀、深刻蚀、湿法腐蚀、电镀、TSV深孔电镀等在内的全流程系列工艺。