多功能高真空实验系统

一、多功能高真空测试系统

该测试系统的效果图如下：

该项目一个是定制的多功能真空系统，真空度优于1E-6Pａ；

腔内体内置可移动样品台，面积65*65mm，变温范围：-75℃~200℃

配有显微镜，电子枪，分子泵，高精度电信号法兰，真空计等。

可完成I-V，P-V 等曲线测量； 电流，电压等测量。

下图是实物：

二、高真空试验平台系统

该系统腔室满足上方开门方式，实现方便开炉门，进而实现方便放置和取出样件。腔体真空度可达1E-4Pａ

腔室配有以下接口：

（1）激光入口：在腔室正上方，激光射入腔室内样件平台，对平台上的样件进行激光照射；

（2）热成像仪检测口：在腔室上方斜45°，热成像仪可检测腔室内样件的温度；

（3）CCD检测口：在腔室上方斜45°，CCD系统可检测腔室内工艺状态；

（4）腔室内部设置样品台，尺寸在10厘米*10厘米，配套热电偶，最大检测温度1600℃）；

（5）真空接口：在腔室侧面，可接真空泵；

（6）工艺气体进入口：在腔室侧面，可接质量流量计；

（7）气体报警接口：在腔室侧面，可接入气体报警的相关传感器；

下图为实物：